تمامی قیمت ها بدون مالیات ارزش افزوده محاسبه شده است و در هنگام صدرو فاکتور مالیات ارزش افزوده محاسبه گریدده و به مبلغ خدمات اضافه می گردد.
| ردیف | نام دستگاه | فرآیند | شرایط | شرح | قیمت (ریال) |
| ۱ | دسیکاتور | زیر ۲ ساعت | ۲۰۰,۰۰۰ | ||
| از ۲ تا ۱۰ ساعت | ۵۰۰,۰۰۰ | ||||
| روزانه | ۱,۰۰۰,۰۰۰ | ||||
| ۲ | ۱- Oven
vacuum – ۲ |
کوره خلا | زیر ۲ ساعت | ۷۹۵,۰۰۰ | |
| از ۲ تا ۱۰ ساعت | ۱,۵۴۸,۰۰۰ | ||||
| روزانه | ۳,۱۸۰,۰۰۰ | ||||
| ۴ | کوره دما بالا | زیر۱۰ ساعت | ۳۶۰,۰۰۰ | ||
| بالای ۱۰ ساعت | ۱,۴۴۰,۰۰۰ | ||||
| روزانه | ۲,۶۴۰,۰۰۰ | ||||
| ۵ | Spinner | لایه نشانی چرخشی | ۱- تامین محلول ها توسط مشتری انجام می شود. | به ازاء هر لایه (دقت بالا) | ۵۰۰,۰۰۰ |
| ۲- حداکثر دور ۶۰۰۰ rpm (لایه نشان عادی) | |||||
| ۳- در صورت نیاز به تمیزکاری و فرآیندهای خوردگی شیمیایی خاص، هزینه بصورت مجزا محاسبه خواهد شد. | به ازاء هر لایه (عادی) | ۳۰۰,۰۰۰ | |||
| ۶ | میکروسکوپ | آنالیز سطح | در صورت نیاز به تمیزکاری قیمت جداگانه دریافت می شود. | مشاهده هر مورد | ۱۵۶,۰۰۰ |
| اندازه گیری ابعاد هر مورد | ۴۸۰,۰۰۰ | ||||
| گرفتن هر عکس | ۲۴۰,۰۰۰ | ||||
| ۷ | Profiler | پروفایل سطحی | ۱- پله ای در ساختار باید ایجاد شود. | هر نمونه عادی (یک اسکن) | ۵۰۰,۰۰۰ |
| ۲- در صورت نیاز محلول اچ لایه مورد نظر مشخص باشد. | سایر نمونه ها | بسته به مقدار اسکن | |||
| ۸ | SF-100 | نوشتن ماسک | قیمت با توجه به فرآیند ساخت تعیین می گردد. | ||
| ۹ | طراحی و اصلاح ماسک | هر ساعت کارشناس | ۶۶۰,۰۰۰ | ||
| ۱۰ | الکتروپلیت | آبکاری شیمیایی (Electroplating) | فلزهای قابل لایه نشانی: مس، طلا، کروم، نیکل | قیمت با توجه به فرآیند ساخت تعیین می گردد. | |
| ۱۱ | ترازو | ترازو با دقت ۰/۱ میلی گرم | هر مورد | ۷۸,۰۰۰ | |
| ۱۲ | سرویس میکروفلوئیدیک و PDMS | قیمت با توجه به فرآیند ساخت تعیین می گردد. | |||
| ۱۳ | شستشوی ویفر به روش RCA | هر ویفر سیلیکون خالص | ۷۲۰,۰۰۰ | ||
| ۱۴ | تمیزکاری با حلال | هر ویفر سیلیکون خالص | ۳۶۰,۰۰۰ | ||
| ۱۵ | ۱- حمام | الترا سونیک | هرساعت | ۳۰۰,۰۰۰ | |
| ۲- پروو |
مبالغ بدون احتساب مالیات بر ارزش افزوده می باشند و با تغییر نرخ ارز قیمت ها تغییر خواهند کرد.
فرآیند اسپاترینگ
| ردیف | نوع فلز | هزینه فرآیند (ریال) |
هزینه مواد (ریال) |
هزینه کل (ریال) |
ملاحظات |
| ۱ | طلا | ۳,۱۲۰,۰۰۰ | ۴,۶۸۰,۰۰۰ | ۷,۸۰۰,۰۰۰ | – قیمت ها برای بازه ضخامت ۵۰-۰ نانومتر می باشد. – حداکثر ابعاد ویفر با قطر ۲ اینچ – در صورت نیاز به تمیزکاری خاص نمونه، هزینه به صورت مجزا محاسبه خواهد شد. |
| ۲ | کروم | ۳,۱۲۰,۰۰۰ | ۲,۵۲۰,۰۰۰ | ۵,۶۸۰,۰۰۰ | |
| ۳ | مس | ۳,۱۲۰,۰۰۰ | ۱,۶۸۰,۰۰۰ | ۴,۸۰۰,۰۰۰ |
مبالغ بدون احتساب مالیات بر ارزش افزوده می باشند و با تغییر نرخ ارز قیمت ها تغییر خواهند کرد.
| فرآیندهای فتولیتوگرافی | ||||
| ردیف | فرآیند | ضخامت فتورزیست | هزینه انجام (ریال) | ملاحظات |
| ۱ | فتولیتوگرافی لایه نازک (thin- film) | ۱-۲ میکرون منفی/ مثبت |
۴,۲۰۰,۰۰۰ | لیتوگرافی ساده و یا Lift-off |
| ۲ | فتولیتوگرافی لایه ضخیم(thick – film) | تا ۲۰ میکرون | ۷,۵۶۰,۰۰۰ | متناسب با طرح ماسک |
| ۳ | فتولیتوگرافی لایه ضخیم /پروسه های میکروفلوییدیک | تا ۵۰ میکرون | ۱۰,۹۲۰,۰۰۰ | متناسب با طرح ماسک |
| ۴ | فتولیتوگرافی لایه ضخیم/پروسه های میکروفلوییدیک | تا ۱۰۰ میکرون | ۱۱,۷۶۰,۰۰۰ تا ۲۰,۱۶۰,۰۰۰ | به نسبت پیچیدگی طرح ماسک |
| ۵ | فتولیتوگرافی لایه ضخیم/پروسه های میکروفلوییدیک | تا ۲۰۰ میکرون | ۲۰,۱۶۰,۰۰۰ تا ۳۶,۹۶۰,۰۰۰ | به نسبت پیچیدگی طرح ماسک |
| ۶ | فتولیتوگرافی لایه ضخیم/پروسه های میکروفلوییدیک | بالاتر از ۲۰۰ میکرون | ۳۶,۹۶۰,۰۰۰ تا ۵۳,۷۶۰,۰۰۰ | به نسبت پیچیدگی طرح ماسک |
| مبالغ بدون احتساب مالیات بر ارزش افزوده می باشند و با تغییر نرخ ارز قیمت ها تغییر خواهند کرد. | ||||
