- لیتوگرافی
- طراحی و ساخت ماسک(نوشتن ماسک برای تراشه های MEMS)
- اندازه گیری پروفیل سطح
- زبری سنجی
- ریزسیالی (میکروفلوئیدیک/ microfluidic)
- لایه نشانی چرخشی
- کند و پاش(اسپاترینگ,sputtering)
- آنالیز سطح , عکسبرداری و اندازه گیری با میکروسکوپ
تمامی قیمت ها بدون مالیات ارزش افزوده محاسبه شده است و در هنگام صدرو فاکتور مالیات ارزش افزوده محاسبه گریدده و به مبلغ خدمات اضافه می گردد.
مبالغ بدون احتساب مالیات بر ارزش افزوده می باشند و با تغییر نرخ ارز قیمت ها تغییر خواهند کرد.
| ردیف | فرآیند | میزان خدمات | قیمت (ریال) |
| ۱ | دسیکاتور | زیر ۲ ساعت | ۲۲۶,۰۰۰ |
| از ۲ تا ۱۰ ساعت | ۶۶۵,۰۰۰ | ||
| روزانه | ۱,۳۳۰,۰۰۰ | ||
| ۲ | کوره خلا( Oven & vacuum) | زیر ۲ ساعت | ۱,۰۰۰,۰۰۰ |
| از ۲ تا ۱۰ ساعت | ۱,۹۰۰,۰۰۰ | ||
| روزانه | ۴,۲۵۰,۰۰۰ | ||
| ۳ | کوره دما بالا ( کوره Atra ) | زیر ۲ ساعت | ۳۵۰,۰۰۰ |
| از ۲ تا ۱۰ ساعت | ۳۸۰,۰۰۰ | ||
| روزانه | ۳,۵۰۰,۰۰۰ | ||
| ۴ | لایه نشانی چرخشی (Spin Coater ) | به ازاء هر لایه (دقت بالا) (دستگاه خارجی) | ۶۶۵,۰۰۰ |
| به ازاء هر لایه (عادی)(دستگاه داخلی) | ۴۰۰,۰۰۰ | ||
| ۵ | آنالیز سطح ( میکروسکوپ نوری ) | مشاهده هر مورد (کیفی ) | ۲۱۰,۰۰۰ |
| اندازه گیری ابعاد هر مورد (کمی) | ۶۳۰,۰۰۰ | ||
| گرفتن هر عکس | ۳۲۰,۰۰۰ | ||
| ۶ | پروفایل سطحی | هر نمونه عادی (یک اسکن) | ۶۶۵,۰۰۰ |
| و یا اندازه گیری ضخامت لایه هر نمونه | ۶۶۵,۰۰۰ | ||
| ۷ | نوشتن ماسک نوری -SF system | زمان کار دستگاه به حجم فایل و تراکم آن بستگی دارد | ۳,۰۰۰,۰۰۰ |
| (optical mask-writing) | |||
| ۸ | طراحی و اصلاح طرح ماسک | میزان ساعت کارشناس بستگی به تراکم و پیچیدگی طرح ها دارد | ۱,۰۰۰,۰۰۰ |
| ۹ | آبکاری شیمیایی (Electroplating) مس | ۲میکرون لایه مس | هزینه قسمت های مختلف حساب شود – هر نیم ساعت منبع تغذیه ۱۰۰۰۰۰۰ ریال |
| ۱۰ | آبکاری شیمیایی (Electroplating)نیکل | ۲میکرون لایه نیکل | هزینه قسمت های مختلف حساب شود – هر نیم ساعت منبع تغذیه ۱۰۰۰۰۰۰ ریال |
| ۱۱ | ترازو با دقت ۰/۱ میلی گرم | هر مورد | ۱۰۰,۰۰۰ |
| ۱۲ | سرویس میکروفلوئیدیک و PDMS | دیسیکاتور ۱۵ دقیقه + ترازوی دقیق ۱۰ دقیقه | به تفکیک ریز قسمت ها |
| ۱۳ | شستشوی ویفر به روش RCA | ۱-۲ویفر سیلیکون کامل | ۹۵۰,۰۰۰ |
| ۱۰۰,۰۰۰ | |||
| ۱۴ | تمیزکاری با حلال استن و الکل | ۱-۲ویفر سیلیکون کامل | قیمت مواد + ۱۰۰,۰۰۰ |
| ۱۵ | الترا سونیک | هرساعت | ۳,۰۰۰,۰۰۰ |
| ۱۶ | فرآیند اسپاترینگ-طلا | لایه نشانی تا ۵۰ نانومتر | هزینه مواد + ۴,۰۰۰,۰۰۰ |
| ۱۷ | فرایند اسپاترینگ – کروم | لایه نشانی تا ۵۰ نانومتر | |
| ۱۸ | فرآیند اسپاترینگ-مس | لایه نشانی تا ۵۰ نانومتر | |
| ۱۹ | فتولیتوگرافی لایه نازک (thin- film)- یک ویفر ۴ اینچ | تا ۲ میکرون ضخامت | ۵,۵۸۰,۰۰۰ |
| ۲۰ | فتولیتوگرافی لایه ضخیم(thick – film)یک ویفر ۴ اینچ | تا ۲۰ میکرون ضخامت | ۱۰,۵۴۰,۰۰۰ |
| ۲۱ | فتولیتوگرافی لایه ضخیم /پروسه های میکروفلوییدیک یک ویفر ۴ اینچ | تا ۵۰ میکرون ضخامت | ۱۴,۵۰۰,۰۰۰ |
| ۲۲ | فتولیتوگرافی لایه ضخیم /پروسه های میکروفلوییدیک یک ویفر ۴ اینچ | تا ۱۰۰ میکرون ضخامت | ۲۶۸,۰۰۰,۰۰۰ تا ۱۵,۶۰۰,۰۰۰ |
| ۲۳ | فتولیتوگرافی لایه ضخیم /پروسه های میکروفلوییدیک یک ویفر ۴ اینچ | تا ۲۰۰ میکرون ضخامت | ۲۶,۸۰۰,۰۰۰ تا ۴۹,۱۵۶,۰۰۰ |
| ۲۴ | فتولیتوگرافی لایه ضخیم /پروسه های میکروفلوییدیک یک ویفر ۴ اینچ |
بالاتر از ۲۰۰ میکرون |
۴۹,۱۵۶,۰۰۰ تا ۷۱٫۵۰۰,۰۰۰ |
مبالغ بدون احتساب مالیات بر ارزش افزوده می باشند و با تغییر نرخ ارز قیمت ها تغییر خواهند کرد.
|
ردیف |
نوع فرایند | بازرسی و اندازه گیری | نحوه محاسبه |
| ۱ | آبکاری مس تا۲ میکرون | ضخامت سنجی با پروفایلر نیم ساعت | جهت استعلام قیمت با شماره ۶۶۴۸۹۳۰۰-۰۲۱ داخلی ۱۱۱ تماس بگیرید |
| ۲ | آبکاری نیکل تا۲ میکرون | ضخامت سنجی با پروفایلر نیم ساعت | جهت استعلام قیمت با شماره ۶۶۴۸۹۳۰۰-۰۲۱ داخلی ۱۱۱ تماس بگیرید |
| ۳ | فرایند شستشو RCA- یک یا دو ویفر ۴ اینچی | جهت استعلام قیمت با شماره ۶۶۴۸۹۳۰۰-۰۲۱ داخلی ۱۱۱ تماس بگیرید |
مبالغ بدون احتساب مالیات بر ارزش افزوده می باشند و با تغییر نرخ ارز قیمت ها تغییر خواهند کرد.
