دستاوردها

ساخت زدایشگر فتورزیست (Photoresist Remover) مثبت و منفی و تولید آن به صورت تجاری برای اولین بار در ایران

این ماده برای پاک کردن فتورزیست از روی ویفر استفاده می شود. در بعضی از آزمایشگاهها در حال حاضر از استون برای این منظور استفاده می شود. استون قابلیت حل کردن تمام قسمتهای فتورزیست را ندارد و باعث باقی ماندن قسمتی از آن می شود. به همین دلیل نیاز به شستشوی زیاد ویفر پس از آن وجود دارد. این مسئله تکرار پذیری فرایند را کاهش می دهد، کیفیت لایه نشانی های بعدی را ضعیف می کند و مشکلاتی مانند پوسته شدن بوجود می آورد. این ماده هردو نوع فتورزیست مثبت و منفی (SU8, KMPR, 1813,…) را میتواند پاک کند. از این ماده برای حل کردن چسبهای قوی صنعتی نیز می توان استفاده کرد.

ساخت مایع ظهور (Developer) فتورزیست مثبت و منفی و تولید آن به صورت تجاری برای اولین بار در ایران

این ماده برای ظهور انواع فتورزیست مثبت و منفی در صنایع میکروالکترونیک و MEMS استفاده می شود. در بعضی از آزمایشگاهها در حال حاضر از NaOH برای این منظور استفاده می شود. این ماده قابلیت حل کردن تمام قسمتهای فتورزیست را ندارد و باعث باقی ماندن قسمتی از آن می شود. به همین دلیل به دست آوردن رزولوشن کمتر از ۲ میکرون با آن امکان پذیر نیست. این ماده برای ظهور هردو نوع فتورزیست مثبت و منفی (SU8, KMPR, 1813,…) استفاده می شود.

ایجاد و نگهداری نانو ذرات نقره، طلا و مس برای مدت طولانی

در آزمایشگاه ریزفناوری امکان ایجاد و نگهداری نانو ذرات نقره، طلا و مس وجود دارد. برای سایر نانو ذرات نیاز به بررسی است.

رزین قابل ریخته گری با پرینتر سه بعدی ((LAMP

LAMP یا Large Area Maskless Photopolymerization نوعی روش تولید قالب های سرامیکی با استفاده از پلیمرهای پخت شونده با نور است. در LAMP که از روش استریولیتوگرافی در نمونه سازی سریع اقتباس شده است، دوغابی از پودر سرامیک با رزین مایع پلیمرهای پخت شونده با نور به صورت لایه به لایه در معرض تابش اشعه ماورای بنفش (یا طیف آبی و کمتر از آن) قرار می‌گیرد. تابش اشعه ماورا بنفش با میکروآینه های دیجیتال و به کمک یک برنامه کامپیوتری کنترل می شود تا شکل هندسی هر لایه کنترل شود. هر لایه رزین با تابش اشعه ماورا بنفش پخت می شود و در نهایت جامد سه بعدی مورد نظر ایجاد می شود.

طراحی و ساخت میکرو شتاب سنج

این طرح ادامه طرح ۶۰-۴۰ طراحی و ساخت شتاب سنج MEMS با حمایت آموزش عالی بود که در آن دانش ساخت ریز شتابسنج با محدوده g25، رزولوشن mg5 , شوک g500 حاصل و یک نمونه ساخته شد. هدف این طرح هدف ارتفا دانش قبلی به ساخت شتاب سنج با محدوده g100، رزولوشن g0/1 و شوکهای بالا (g5000 در این طرح)، اطمینان از امکان تولید پایلوت (ساخت ۲۰ نمونه)، و اثبات کارایی در آزمون سخت میدانی بود. کاربرد آن در ادوات هوشمند، ناوبری، موبایل و خودرو، ماهواره، وسایل بازی، پزشکی و…. است. حاصل طرح ساخت ۲۰ شتاب سنج موفق در آزمون میدانی بود. در بعضی موارد عملکرد نمونه ها بالاتر از میزان تعهد شده بود.

طراحی و ساخت میکرو حسگر اندازه گیری زاویه

حسگر های جابجایی زاویه ای که به آنها انکودر های دورانی نیز گفته می شود، ابزار های الکترومکانیکی هستند که موقعیت زاویه ای یک شفت دوار را نسبت به یک قسمت ثابت، به صورت یک خروجی آنالوگ یا کد دیجیتال تبدیل می کند. به این نوع حسگر ها مبدل زاویه نیز می گویند. مهندسین حسگر های جابجایی زاویه‌ای را برای کاربرد هایی که نیاز به داشتن زاویه دقیق قسمت دوار (مانند خروجی یک عملگر و یا شفت یک موتور) نسبت به قسمت ثابت (مانند پایه عملگر و یا استاتور موتور) است استفاده می کنند. مشخصات سنسور به شرح زیر است:

ولتاژ عملکرد ۱۲± ولت
تغییر ات مقاومت ۲۵۰۰-۰ اهم
میزان کل چرخش ۷۵ درجه

طراحی و ساخت کلید شتاب سنج

کار کلیدهای شتاب فعال نمودن یک سامانه هنگام رسیدن به شتاب مشخص است (airbag، ادوات هوشمند). در این طرح هدف ساخت کلید شتاب با محدوده g 200، رزولوشن g 1/0 و شوکهای بالا (g 200 در این طرح)، اطمینان از امکان تولید پایلوت (ساخت ۲۰ نمونه)، و اثبات کارایی در آزمون سخت میدانی بود. از محل صرفه جویی طرح ۶۰-۴۰، کمکهای ستاد میکرو الکترونیک و کمکهای دانشگاه صنعتی امیرکبیر، زیر ساخت اولیه آزمایشگاه ریزفناوری دانشگاه برای تولید پایلوت محیا شد. این پروژه به صورت داخلی انجام شد. حاصل طرح ساخت ۲۰ کلید شتاب سنج موفق در آزمون میدانی بود. در بعضی موارد عملکرد نمونه ها بالاتر از میزان تعهد شده بود.

مایع دوده بر

این ماده برای برای برداشتن دوده، روغن سوخته و لایه های محافظ آلی از روی ساختارهای فلزی و غیر فلزی استفاده می شود. ساختار مورد نظر در حلال قرار می گیرد و پس از حرارت دادن (۶۰ تا ۱۱۰ درجه)، دوده از روی سطح آن برداشته می شود. مزایا : کارایی بالا ، سازگاری با محیط زیست و اپراتور ، عاری از هر گونه مواد سرطان زا و سمی و بوی ناچیز

کاربردها :

برداشتن لایه های دوده و روغن سوخته از روی سطوح
مواردی که قطعات به آسانی قابل جایگزین کردن نیستند و لذا نیاز به تمیزکاری مطرح می‌شود.
در قطعاتی مانند قطعات توربوشارژر که در تماس با سوخت لوکوموتیو و حرارت های بالا هستند، اکسید آهن و همچنین یک لایه از کربن سوخته بر روی آنها تشکیل می شود و این ماده بسیار موثر خواهد بود.

کیت خنثی کننده اسید و باز هنگام پاشش بدون استفاده از آب با قابلیت جارو کردن

با وجود تمام تلاش صنعتگران، محققان و کارشناسان برای ایمنی در آزمایشگاهها و مراکز صنعتی، ریختن اسیدها و بازها همواره محتمل و امکان پذیر است. در حال حاضر به علت نبود ماده مناسب، برای رفع خطر و آلودگی در هنگام حادثه، از مقدار زیادی آب و ماده تمیز کننده برای رقیق کردن و بی اثر کردن ماده شیمیایی ریخته شده استفاده می شود. رقیق شدن اولیه اسید و باز قدرت تخریب آنها را بالا می برد. بعلاوه استفاده از آب حجم ماده را بیشتر می کند و باعث سرریز و حرکت کنترل نشده محلول به محلهایی می­شود که مطلوب نیست. این محلول در تماس با هر سطح فلزی/ پارچه ای، باعث آسیب و پوسیدگی می شود. محصول حاضر به صورت خشک و شبیه به شن است. هنگام پاشش اسید و باز، مقدار کافی از آن روی ماده شیمیایی ریخته می شود. این کیت ضمن خنثی نمودن هر نوع اسید و باز، باعث جذب آنها می شود. سپس کیت خنثی کنده، با جارو جمع و در سطل ریخته می شود. در صورت تمایل می توان محلل پاشش را پس از جارو کردن در صورت تمایل با آب و صابون بدون نگرانی تمیز نمود تا رد خاک به جای مانده پاک شود.

پاک کننده گریس و چربی از سطح

گریسها برای روانکاری و افزایش عمر قطعات مکانیکی و حفاظت از سطوح استفاده می شود. ولی این ماده باعث جذب گرد وخاک و مواد ناخواسته می شود. به همین جهت باید در بازه های مشخص از روی سطوح پاک و با گریس جدید جایگزین شوند. این ماده قابلیت حل گریس و بطور کلی چربیها و آلودگی ها را از روی سطوح با کیفیت بسیار بالا دارد. مزایای این ماده عبارتند از:

ظرفیت بالای حل کنندگی
قابلیت استفاده مجدد و عمر طولانی
استفاده از مواد سبز و غیر مضر برای محیط زیست و کاربر

رنگبر برای پاک کردن رنگهای قوی صنعتی با قابلیت استفاده مجدد

این ماده برای جدا کردن رنگ و مواد پوششی از روی فلزات و یا قطعات مکانیکی استفاده می شود. مزیت این ماده در آن است که برخلاف سایر رنگبرها که رنگ را در خود حل می کنند، این حلال رنگ را پوست می کند و به همین دلیل با عبور آن از صافی، بارها می توان از آن استفاده نمود. این ماده قابلیت برداشتن لایه های ضخیم رنگ (حتی رنگهای کوره ای و پخته شده) را بدون اسیب زدن به سطوح فلزی (زنگ زدگی) دارد. دمای موثر کارکرد این ماده در ۸۰ درجه سانتیگراد است.

مزایا:

قابلیت برداشتن رنگ از روی سطوح فلزی به صورت غلاف
قابلیت استفاده مکرر از حلال
استفاده از مواد زیست سازگار در تهیه حلال

توسعه فرایندهای استاندارد و تکرارپذیر ساخت ماسک در ایران

از این سرویس برای ساخت و ایجاد ماسک استفاده می شود. این مرکز جزو معدود مراکز داخلی است که قادر به ارائه این سرویس می باشد.

طراحی و ساخت سلول زدایش تر

آزمایشگاه ریزفناوری آماده ارائه سرویس زدایش لایه های Si, SiO2, Si3N4, Cr, Au و سایر لایه ها می باشد.

سایر موارد

طراحی و ساخت میکرو سوزن نمونه برداری از خون
طراحی و ساخت حسگر بویایی
طراحی و ساخت میکرو روبات کپسولار با محرکهای IPMC
طراحی و ساخت میکرو گریپر
ایجاد نانو پوششهای ضد آب و غبار
طراحی میکروژیروسکوپ
ساخت و تولید صنعتی پاک کننده قوی سطوح بسیار کثیف و چرب
طراحی و ساخت دستگاه پرینتر تماسی
ساخت و تولید صنعتی حلال قوی رنگهای صنعتی و مواد چسبنده