فرآیندهای فتولیتوگرافی

 

فرآیندهای فتولیتوگرافی 
ردیف فرآیند ضخامت فتورزیست هزینه انجام (ریال) ملاحظات
۱ فتولیتوگرافی لایه نازک
 (thin- film)
۱-۲  میکرون
منفی/ مثبت
۳٫۵۰۰٫۰۰۰ لیتوگرافی ساده  و یا Lift-off  
۲ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
(thick – film)
تا ۲۰ میکرون ۶٫۳۰۰٫۰۰۰ متناسب با طرح ماسک
۳ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
تا ۵۰ میکرون ۹٫۱۰۰٫۰۰۰ متناسب با طرح ماسک
۴ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
تا ۱۰۰ میکرون ۹٫۸۰۰٫۰۰۰ تا ۱۶٫۸۰۰٫۰۰۰ به نسبت پیچیدگی طرح ماسک
۵ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
تا ۲۰۰ میکرون ۱۶٫۸۰۰,۰۰۰ تا ۳۰٫۸۰۰٫۰۰۰ به نسبت پیچیدگی طرح ماسک
۶ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
بالاتر از ۲۰۰ میکرون ۳۰٫۸۰۰٫۰۰۰ تا ۴۴٫۸۰۰٫۰۰۰ به نسبت پیچیدگی طرح ماسک
õ  مبالغ بدون احتساب مالیات بر ارزش افزوده می باشند و با تغییر نرخ ارز قیمت ها تغییر خواهند کرد.