فرآیندهای فتولیتوگرافی

 

 

قیمت فرآیندهای فتولیتوگرافی 
ردیف فرآیند ضخامت فتورزیست هزینه انجام (تومان) ملاحظات
۱ فتولیتوگرافی لایه نازک
 (thin- film)
۱-۲  میکرون
منفی/ مثبت
۲۰۰ هزار لیتوگرافی ساده  و یا Lift-off  
۲ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
(thick – film)
تا ۲۰ میکرون ۴۰۰ هزار متناسب با طرح ماسک
۳ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
تا ۵۰ میکرون ۶۰۰ هزار متناسب با طرح ماسک
۴ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
تا ۱۰۰ میکرون ۶۰۰ هزار تا یک میلیون به نسبت پیچیدگی طرح ماسک
۵ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
تا ۲۰۰ میکرون ۱-۲  میلیون به نسبت پیچیدگی طرح ماسک
۶ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
بالاتر از ۲۰۰ میکرون ۲-۳ میلیون به نسبت پیچیدگی طرح ماسک
مبالغ بدون احتساب مالیات بر ارزش افزوده می باشند و با تغییر نرخ ارز قیمت ها تغییر خواهند کرد.