فرآیندهای فتولیتوگرافی

 

فرآیندهای فتولیتوگرافی 
ردیف فرآیند ضخامت فتورزیست هزینه انجام (ریال) ملاحظات
۱ فتولیتوگرافی لایه نازک
 (thin- film)
۱-۲  میکرون
منفی/ مثبت
۲٫۵۰۰٫۰۰۰ لیتوگرافی ساده  و یا Lift-off  
۲ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
(thick – film)
تا ۲۰ میکرون ۴٫۵۰۰٫۰۰۰ متناسب با طرح ماسک
۳ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
تا ۵۰ میکرون ۶٫۵۰۰٫۰۰۰ متناسب با طرح ماسک
۴ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
تا ۱۰۰ میکرون ۷٫۰۰۰٫۰۰۰ تا ۱۲٫۰۰۰٫۰۰۰ به نسبت پیچیدگی طرح ماسک
۵ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
تا ۲۰۰ میکرون ۱۲٫۰۰۰,۰۰۰ تا ۲۲٫۰۰۰٫۰۰۰ به نسبت پیچیدگی طرح ماسک
۶ فتولیتوگرافی لایه ضخیم
پروسه های میکروفلوییدیک
بالاتر از ۲۰۰ میکرون ۲۲٫۰۰۰٫۰۰۰ تا ۳۲٫۰۰۰٫۰۰۰ به نسبت پیچیدگی طرح ماسک
õ  مبالغ بدون احتساب مالیات بر ارزش افزوده می باشند و با تغییر نرخ ارز قیمت ها تغییر خواهند کرد.